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MOS器件退化:P-NMOS特性退化解析-KIA MOS管

信息来源:本站 日期:2021-07-29 

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MOS器件退化:P-NMOS特性退化解析-KIA MOS管


NMOSFET特性退化

饱和区:

通常Vg<Vd

不利于电子注入

存在界面态生成条件


P-NMOS特性退化


NMOS特性退化的3种模式:


P-NMOS特性退化


对于带有LDD的NMOS结构,还有spacer氧化层区域的退化问题。


对漏端轻掺杂(LDD) NMOSEET's,多一个附加的退化效应: spacer氧化层区域的退化,这里产生的陷阱会引起漏端电阻的增加


因此,通常认为存在两个退化过程:早期spacer区域退化占优,而随着应力时间增加,沟道内也逐渐出现陷阱,导致器件表现出后期退化规律


PMOS特性退化类似于NMOS,但相对NMOS要轻微一些。


PMOS特性退化

饱和区:

|Vg|<|Vd|,但Vg<0 Vd<0

利于电子注入界面态和氧化层陷阱生成条件


P-NMOS特性退化


同样的3种退化条件:

Vg≈Vt :氧化层中产生的大量陷阱俘获电子,主要位于漏端附近;而空穴陷阱只有少量产生,离漏端有一点距离


Vg=Vd/2:界面陷阱的产生起主要作用


Vg=Vd:可以观察到氧化层正电荷,而界面陷阱将主要限制PMOSFET的可靠性.


以上三种退化机制的共同作用,如负氧化层电荷、界面陷阱、正氧化层电荷的产生,将决定PMOSFET热载流子退化随时间的变化关系,即器件寿命


下面这张图说明Vg取一半Vd的原因:此时衬底电流最大


P-NMOS特性退化


Vg在一半Vd前后两种条件下,热载流子效应的差异


P-NMOS特性退化



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